כפי שכולנו יודעים, יש רק יצרן אחד בעולם, שיכול לייצר ליטוגרפיה EUV, זה הולנד ASML.
והסיבה לכך שהיחידה בעולם היא בגלל ש-ASML יהיו הרבה יצרנים מרכזיים יחד, כמו חברת האופטיקה הגרמנית Zeiss (Zeiss), ולאחר מכן Cymer של ארצות הברית, ולאחר מכן קבוצת Tom Fast הגרמנית (TRUMPF) ) וכולי.
ASML קשרה את היצרנים הללו למרכבה שלה באמצעות השקעה, רכישה, החזקת מניות, הקמת מרכזי מחקר וכן הלאה, והיצרנים הללו, כנראה היצרנים היחידים בעולם שיכולים לייצר את המוצרים הללו, כך שבסופו של דבר רק ASML מסוגלת לייצר ליטוגרפיה EUV בעולם.
עם זאת, לאחרונה, שרשרת אספקה מרכזית של ASML, רצה לשנג'ן, סין כדי לבנות מפעל, חברת הבת שלה שנזן התיישבה בפארק ההפגנות התעשייתי של Baoan Sino-German (אירופה).
יצרן זה הוא קבוצת Tom Fast (TRUMPF) הגרמנית, זוהי ליטוגרפיית EUV של ASML, ספקית מקור הלייזר היחידה בעולם.
מוצרי TRUMPF בליטוגרפיה EUV, כמה חשוב? ראשית, תן לי להסביר את העיקרון של ליטוגרפיה EUV, אתה תבין.
העיקרון של ליטוגרפיית EUV, בפשטות, מתרכז בשלוש מערכות עיקריות, מערכת מקור אור EUV UV, מערכת עדשות אובייקטיביות ומערכת שולחן.
התהליך הספציפי הוא להשתמש בלייזר כדי לעורר אורך גל של 13.5 ננומטר של אור אולטרה סגול קיצוני, ולאחר מכן לאחר תיקון ליצור אלומת אור מבוקרת, ואז אלומת האור הזו מוקרנת על שולחן הפוטומסק, ולאחר מכן מוקרנת דרך המטרה. מראה לשולחן החשיפה, ולבסוף חרט את המעגל על פרוסת הסיליקון המצופה בפוטו-רזיסט.
איך מתקבלת אחת ממערכות מקור האור EUV UV היא על ידי הפצצת טיפת מתכת מפח (Sn) בלייזר CO2 בהספק של 30 קילוואט, אידוי זה לפלזמה, ולבסוף השגת אור EUV באורך גל של 13.5 ננומטר.
לייזר CO2 זה 30 קילוואט מסופק על ידי TRUMPF, היחיד מסוגו בעולם.
אל תזלזלו בלייזר CO2 זה, יש לו 457,329 חלקים, אורך הכבל במערכת הוא עד 7,322 מטר, והמשקל הוא 17,090 ק"ג, שהוא אחד ממרכיבי הליבה החשובים ביותר בליטוגרפיה EUV.
כעת TRUMPF רצה לסין לבנות מפעל, הכוונה ברורה, כלומר, אופטימית לגבי שוק הלייזר הסיני, ועוד יותר ראייה ארוכת טווח, אופטימית לגבי שוק הליטוגרפיה הסיני, העתיד עשוי לשתף פעולה עם סין לבניית ליטוגרפיית EUV .
למעשה, יש כבר יותר משרשרת אספקה אחת ASML שרצה לסין כדי לבנות מפעל, לפני שיש KMWE ויצרנים אחרים, גם לסין כדי לבנות מפעל.
על פי המגמה הנוכחית, אנו יכולים לצפות באופטימיות שאולי לא יעבור זמן רב עד שטכנולוגיית הליטוגרפיה של סין תהיה צעד גדול קדימה, ואפילו נפח הפלט של ליטוגרפיית EUV יכולה גם לצפות, אתה חושב?
